



产品描述
同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供级射频电源维修保养。为 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
PDP 2500 、 PEP 2500 、 PEP 5000
Ion Beam Drive : ID-3500 、 IT-3500
PDX : PDX 500 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000
PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 P E-20K
PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDW 600 、 PDW 2200
服务范围:刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统,
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地址:上海市 松江区 九亭镇 莘松路1288弄516号
联系人:李文荣先生(经理)
微信帐号:13564048728